直線光柵尺測(cè)量直線軸位置，測(cè)量期間沒 有任何其它機(jī)械傳動(dòng)件。因此，它能消除 以下潛在誤差源： • 滾珠絲杠溫度特性導(dǎo)致的定位誤差

• 反向誤差 • 滾珠絲杠螺距誤差導(dǎo)致的運(yùn)動(dòng)特性誤差 因此，直線光柵尺是高精度定位和高速加 工機(jī)床*的基礎(chǔ)技術(shù)手段。 敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于超高測(cè)量精度 的機(jī)器和系統(tǒng)。

典型應(yīng)用包括：

• 半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備

• PCB電路板組裝機(jī)

• 超精密機(jī)床，例如加工光學(xué)器件的金剛 石刀具，加工磁盤的端面車床和加工鐵 氧體元件的磨床

• 高精度機(jī)床

• 測(cè)量機(jī)和比較儀、測(cè)量顯微鏡和其它精 密測(cè)量設(shè)備

• 直驅(qū)電機(jī) 機(jī)械結(jié)構(gòu) 敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼光柵尺 帶和讀數(shù)頭，光柵尺和讀數(shù)頭間無(wú)機(jī)械接 觸。 敞開式直線光柵尺的光柵尺帶固定在安裝 面上。因此，安裝面的平面度是高精度直 線光柵尺應(yīng)用的基礎(chǔ)條件。

測(cè)量原理 測(cè)量基準(zhǔn)

海德漢公司的光學(xué)掃描光柵尺或編碼器的 測(cè)量基準(zhǔn)都是周期刻線－光柵。 這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長(zhǎng) 度測(cè)量用的光柵尺帶的基體為鋼帶。 海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝 制造精密光柵。

• AURODUR：在鍍金鋼帶上蝕刻線條， 典型柵距40 µm • METALLUR：抗污染的鍍金層金屬線， 典型柵距20 µm

• DIADUR：玻璃基體的超硬鉻線（典型柵 距20 µm）或玻璃基體的三維鉻線格柵 （典型柵距8 µm）

• SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格 柵線條；*抗污能力；典型柵距不超 過8 µm

• OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵 線條，超高反光性能，典型柵距不超過 2 µm 這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵 外，而且刻制的光柵線條邊緣清晰、均 勻。再加上光電掃描法，這些邊緣清晰 的刻線是輸出高質(zhì)量信號(hào)的關(guān)鍵。 母版光柵采用海德漢公司定制的精密 刻線機(jī)制造。

heidenhain海德漢光柵尺LIP 382精度0.001µm

LIP 372，LIP 382 超高精度增量式直線光柵尺

• 測(cè)量步距達(dá)0.001 µm（1 nm）

• 測(cè)量基準(zhǔn)用螺栓固定

如有需要詳情，請(qǐng)見：heidenhain海德漢光柵尺LIP 382精度0.001µm